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簡要描述：瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導率。
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瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）
任何條件下都能提供可靠的隔離25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導率。
為提供耐用性和較長的正常運行時間，25.2 高真空鋼瓶閥系列具有密封保護系統(tǒng)，兼具鋼瓶設計的高流導和更長的密封壽命等優(yōu)勢。該密封保護系統(tǒng)通過鋼瓶傾斜-轉(zhuǎn)動-傾斜的動作工作，在該動作中，鋼瓶會通過提起動作移除閥座上的閘封，以避免任何摩擦、密封磨損以及粒子的生成。在全開啟（90° 旋轉(zhuǎn)后）的情況下，傾斜-轉(zhuǎn)動-傾斜的動作還會將密封件輕柔地壓向閥體，防止密封件接觸氣流中可能存在的磨蝕粒子。斷電時，閥體機構(gòu)將被鎖定在打開或關(guān)閉位置，維持閥體最后的位置。
25.2 高真空鋼瓶閥系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。
25.2 高真空鋼瓶閥為氣動型，帶有作為外部安裝配件的電磁閥。閥門位置通過 LED 燈（10-30?VDC，5-100?mA）指示。
法蘭連接器的標準選項為 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型"。標準閥板密封采用氟橡膠?？杉煽蛻舴ㄌm以及特殊功能，例如加熱筒、其他密封材料或不銹鋼類型。
適用于惡劣環(huán)境，設計可靠、成熟
傾斜-旋轉(zhuǎn)-傾斜機制，保護密封
最大流導
優(yōu)勢：
性能可靠
維護量少，可輕松維護
擁有成本較低
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）
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